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自動(dòng)300mm晶圓搬送機(jī)


AL120-12晶圓搬送機(jī)對(duì)應(yīng)可使用FOUP（裝載口）和FOSB，適用于低成本的后期檢查。

**且符合人體工程學(xué)的設(shè)計(jì)確保了操作人員在搬送晶圓時(shí)（包括薄晶圓和變形晶圓）的效率和**。


人機(jī)工程學(xué)設(shè)計(jì)，操作方便 
? 可以自由設(shè)置的檢查模式，在設(shè)計(jì)上考慮了后道工程中的操作性，尤為重視設(shè)備的操作簡(jiǎn)便性。 
? 分別對(duì)應(yīng)FOUP(Load Port）和FOSB的兩種機(jī)型。


堅(jiān)固、可靠和**傳送 
? 延續(xù)了上一代機(jī)型的堅(jiān)固性、可靠性和**性，能夠**可靠的傳送300 mm晶圓。 
? 薄片，Warped晶圓皆能**搬送。 
? 宏觀觀察位置的*優(yōu)化和操作單元的集中排列，提高了設(shè)備的操作舒適性。