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可用于 300mm晶片圓測量和分析的自動化納米測量工具

Park NX20 300mm是業(yè)界靠前大樣品原子力顯微鏡，支持300mm×300mm全程機動化。


新升級的Park NX20系統(tǒng)專為失效分析和質(zhì)量控制實驗室設(shè)計，可有效地檢測整個

300mm晶圓，且無需任何繁瑣的樣品位移。盡管擴大了支持300mm樣品的機動XY工作臺，但Park的創(chuàng) 新性振動隔離技術(shù)仍然能夠?qū)⑾到y(tǒng)噪聲保持在低于0.5 (?) RMS，通常是0.3 ? RMS的水平。


經(jīng)檢驗的原子力顯微鏡性能和單擊-原子力顯微鏡自動化取消了樣本調(diào)整的需求，并使Park NX20的掃描過程盡可能高效和便于使用。


通過我們的“批處理模式(Program Mode)”界面，用戶可以在整個300mmx300mm區(qū)域輕松實現(xiàn)可靠與可重復(fù)的順序多站點測量。NX20 300 mm從而成為需要掃描大樣品的FA、QA和QC工程師的優(yōu)選。



專為大樣品晶圓檢測而建

NX20 300 mm進行了全新設(shè)計，可達到大樣品的*佳測量。整個300mm晶圓區(qū)域可進行低噪聲原子力顯微鏡測量分析。這開啟了一個全新的自動化測量范圍，讓工程師可以更快捷、更簡便、更精 確地開展工作。



靈活的300mm樣品吸盤

Park NX20 300mm真空吸盤支持各種尺寸、形狀和類型的晶圓，讓用戶幾乎可準(zhǔn)確掃描任何樣品。

300mm XY軸工作臺


機動化的300mm XY軸工作臺允許用戶在300mm的全部區(qū)域內(nèi)移動原子力顯微鏡的測量位置。
 

NX20 支持300mm樣品臺，性能已被證實

因其無 與倫比的易用性和自動化以及不受影響的精度，NX20已是FA、QA和QC工程師的*佳選擇。憑借其支持300mm電動XY軸工作臺的擴大平臺，NX20 300mm更上一層樓，允許用戶輕松地以極高的精度檢測更大的樣品。


Park SmartScan?讓精 確測量更為簡單


Park NX20配備了我們的SmartScan操作系統(tǒng)，使其成為市場上*易于使用的原子力顯微鏡之一。

通過直觀且極為強大的界面，即便是未經(jīng)培訓(xùn)的用戶無需協(xié)助也可快速掃描大樣品。這使上等工程師能夠集中精力解決更大的問題和開發(fā)更好的解決方案。




a、在完整300mm晶圓上掃描多個位點
SmartScan?允許用戶從位點到位點和樣品到樣品的層面上，借助基于網(wǎng)格和晶圓的模式，進行自動順序測量與表面形態(tài)、高度和表面粗糙度的比較。這可以大大提高掃描大樣品時的用戶便利性和生產(chǎn)效率。
b、強大的工作創(chuàng)建功能
格式創(chuàng)建流程簡單，允許工程師設(shè)置每個批次的位置、名稱、數(shù)量和類型所定義的預(yù)設(shè)。
針對廣泛應(yīng)用性進行優(yōu)化

NX20 300mm為眾多應(yīng)用提供自動格式的原子力顯微鏡測量，為納米級的樣品提供上等測量和分析。具有粗糙度、高度和深度測量，缺陷檢查，電氣和磁故障分析，熱性能表征和納米力學(xué)性能成像等能力，該原子力顯微鏡是檢測大樣品的FA、QA和QC工程師執(zhí)行各種任務(wù)的理想選擇。