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用于材料分析的激光顯微鏡
更智能的工作流程，更快速的實(shí)驗(yàn)設(shè)計(jì)


適用于故障分析和材料工程研究的OLS5100激光顯微鏡將**的測(cè)量精度和光學(xué)性能與智能工具相結(jié)合，讓顯微鏡更加方便使用。通過快速高效**測(cè)量亞微米級(jí)形狀和表面粗糙度的可靠數(shù)據(jù)簡化您的工作流程。






保證測(cè)量準(zhǔn)確度

LEXT顯微鏡物鏡可提供高度準(zhǔn)確的測(cè)量數(shù)據(jù)。與智能物鏡選擇助手（Smart Lens Advisor）搭配使用，就可獲得可靠的高精度數(shù)據(jù)。

· 有保證的測(cè)量準(zhǔn)確度*
· 奧林巴斯享譽(yù)世界的光學(xué)器件能夠以更低像差在整個(gè)視場(chǎng)中捕捉樣品的真實(shí)形貌
· 智能物鏡選擇助手（Smart Lens Advisor）還可幫助您選擇合適的物鏡進(jìn)行粗糙度測(cè)量

*本網(wǎng)頁上包括保證的準(zhǔn)確度在內(nèi)的信息基于奧林巴斯設(shè)定的條件。



簡化材料工程與失效分析實(shí)驗(yàn)管理


測(cè)試新材料時(shí)的實(shí)驗(yàn)條件管理具有復(fù)雜性，OLS5100激光顯微鏡的智能實(shí)驗(yàn)管理助手（Smart Experiment Manager）可通過關(guān)鍵步驟（如創(chuàng)建實(shí)驗(yàn)計(jì)劃）自動(dòng)化簡化這一過程。


· 提升30％的速度加快完成測(cè)量任務(wù) *
· 掃描計(jì)劃隨數(shù)據(jù)采集自動(dòng)生成

· 無需花費(fèi)時(shí)間轉(zhuǎn)錄數(shù)據(jù)，軟件為您自動(dòng)完成

*與OLS5000相比


自動(dòng)數(shù)據(jù)輸入


軟件會(huì)自動(dòng)將值添加到實(shí)驗(yàn)計(jì)劃矩陣中，以盡可能減少輸入錯(cuò)誤的可能。只需點(diǎn)擊幾下鼠標(biāo)，就可以將實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)導(dǎo)出到Excel電子表格。




簡捷的實(shí)驗(yàn)條件數(shù)據(jù)管理


通過點(diǎn)擊實(shí)驗(yàn)計(jì)劃中的每個(gè)單元格，軟件即可自動(dòng)生成包含評(píng)估條件的文件名，從而方便保存記錄。每個(gè)文件均包含相關(guān)聯(lián)的圖像和數(shù)據(jù)。







全方位數(shù)據(jù)采集


顯微鏡根據(jù)軟件生成的實(shí)驗(yàn)計(jì)劃掃描樣品，不會(huì)讓您丟失數(shù)據(jù)或重復(fù)工作。




輕松發(fā)現(xiàn)問題

彩色 圖譜可幫助您了解實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)并驗(yàn)證是否存在數(shù)據(jù)丟失和錯(cuò)誤。如果存在問題，您可以盡早發(fā)現(xiàn)并解決。




選擇合適的物鏡


智能物鏡選擇助手（Smart Lens Advisor）還可幫助您為粗糙度測(cè)量應(yīng)用選擇合適的物鏡只需選擇合適的物鏡，再點(diǎn)擊開始，智能物鏡選擇助手（Smart Lens Advisor）就會(huì)告訴您該物鏡的推薦程度。


輕松的數(shù)據(jù)采集

經(jīng)驗(yàn)豐富的用戶和新手均可以利用Smart Scan II功能快速輕松獲取數(shù)據(jù)。將樣品放在載物臺(tái)上，按下“啟動(dòng)”按鈕，顯微鏡即可自動(dòng)完成其余操作。




主機(jī)

型號(hào)
 OLS5100-SAF
 OLS5100-SMF
 OLS5100-LAF
 OLS5100-EAF
總倍率
 54x–17,280x
視場(chǎng)
 16 μm–5,120 μm
測(cè)量原理
 光學(xué)系統(tǒng)
反射式共焦激光掃描激光顯微鏡
反射式共焦激光掃描激光-DIC顯微鏡
顏色
彩色DIC
光接收元件
激光：光電倍增管（2通道）
彩色：CMOS彩色相機(jī)
高度測(cè)量
 顯示分辨率
 0.5 nm
動(dòng)態(tài)范圍
 16位
重復(fù)性σn -1*1 *2 *5
 5X：0.45 μm, 10X：0.1 μm, 20X : 0.03 μm, 50X : 0.012 μm, 100X : 0.012 μm
準(zhǔn)確度*1 *3 *5
 0.15 + L / 100μm（L：測(cè)量長度[μm]）
拼接圖像準(zhǔn)確度*1 *3 *5
 10X：5.0+L/100 μm, 20X 或更高倍率1.0+L/100 μm (L: 拼接長度[μm])
測(cè)量噪聲（Sq噪聲）*1 *4 *5
 1 nm（典型值）
寬度測(cè)量
 顯示分辨率
 1 nm
重復(fù)性3σn-1  *1 *2 *5 
 5X: 0.45 μm, 10X: 0.1 μm, 20X: 0.03 μm, 50X: 0.012 μm, 100X: 0.012 μm
準(zhǔn)確度*1 *3 *5
 測(cè)量值+/- 1.5%
拼接圖像準(zhǔn)確度*1 *3 *5
 10X : 24+0.5L μm, 20X : 15+0.5L μm, 50X : 9+0.5L μm, 100X : 7+0.5L μm (L: 拼接長度[mm]）
單次測(cè)量時(shí)*大測(cè)量點(diǎn)數(shù)量
 4096 × 4096像素
*大測(cè)量點(diǎn)數(shù)量
 3600萬像素
XY載物臺(tái)配置
 長度測(cè)量模塊
 ?
 不適用
 不適用
 ?
工作范圍
 100 × 100 mm (3.9 × 3.9 in.) 電動(dòng)
 100 × 100 mm (3.9 × 3.9 in.) 手動(dòng)
 300 × 300 mm (11.8 × 11.8 in.) 電動(dòng)
 100 × 100 mm (3.9 × 3.9 in.) 電動(dòng)
激光光源
 波長
 405 nm
*大輸出
 0.95 mW
激光等級(jí)
 2級(jí)（IEC60825-1：2007，IEC60825-1：2014）
彩色光源
 白光LED
電氣功率
 240 W
 240 W
 278 W
 240 W
質(zhì)量
 顯微鏡主體
 約 31 kg
 約 32 kg
 約 50 kg
 約 43 kg
控制箱
 約 12 kg