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產(chǎn)品概覽 技術(shù)規(guī)格 資料下載 行業(yè)應(yīng)用

在高分辨率、受好評(píng)的FineSAT Ⅲ的基礎(chǔ)上，進(jìn)一步提高了分辨率


為提高分辨率，提高了以往使用的超聲波頻率。 在高頻化方面，超聲波在傳播介質(zhì)中的衰減越來(lái)越大，信噪

比降低的弊端變大，所以在檢查用途方面，300MHz前后是實(shí)用的*高頻率。


300MHz頻率的超聲波，在*佳條件下，僅 限于5μm左右寬度的線(xiàn)型識(shí)別，對(duì)于正在應(yīng)用于*新LSI封裝的TSV、Cu柱等微細(xì)結(jié)構(gòu)體的檢查時(shí)，可能無(wú)法適用。
FineSAT HR開(kāi)發(fā)了新型電路、提高了分辨率，成功突破了這類(lèi)超聲波檢查裝置的極限。

產(chǎn)品構(gòu)成：

FS100ⅢHR FS200ⅢHR FS300ⅢHR
支持探頭頻率(MHz) 5～75 5～140 5～300