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從380nm~1050nm的可視光至近紅外實(shí)現(xiàn)大范圍波長區(qū)域中的分光測定


奧林巴斯的近紅外顯微分光測定儀USPM-RU-W可以高速&高精細(xì)地進(jìn)行可視光區(qū)域至近紅外區(qū)域的大范圍波長的分光測定。

由于其可以很容易地測定通常的分光光度計(jì)所不能測定的細(xì)微區(qū)域、曲面的反射率,因此十分適用于光學(xué)元件與微小的電子部件等產(chǎn)品。





實(shí)的測定功能

使用一臺即可進(jìn)行反射率、膜厚、物體顏色、透過率、入射角45度反射率的各種分光測定。

測定反射率
測定以物鏡聚光φ17~70μm的微小點(diǎn)的反射率。

反射率測定光路圖

  
反射率測定例:鏡片                                  反射率測定例:鏡片周邊部位


膜厚測定的圖例

測定膜厚


活用反射率數(shù)據(jù),測定約50nm~約10μm的單層膜、多層膜的膜厚。

 

測定物體顏色


根據(jù)反射率數(shù)據(jù)顯示XY色度圖、L*a*b色度圖及相關(guān)數(shù)值。              

測定透過率

從受臺下部透過φ2mm的平行光,測定平面樣品的透過率。(選配)

透過率測定光路圖


測定入射角為45度的反射率
從側(cè)面向45度面反射φ2mm的平行光,測定其反射率。(選配)

45度反射率測定光路圖
域的高精度&高速測定

  

光學(xué)系圖

實(shí)現(xiàn)高速測定


使用平面光柵及線傳感器進(jìn)行全波長同時(shí)分光測定,從而實(shí)現(xiàn)高速測定。


                                                                   反射率測定圖例  

                       

*適用于測定細(xì)小部件、鏡片的反射率


新設(shè)計(jì)了可以在φ17~70μm的測定區(qū)域中進(jìn)行非接觸測定的專用物鏡。通常的分光光度計(jì)不能進(jìn)行測定的細(xì)小電子部件或鏡片等的曲面,也可以實(shí)現(xiàn)再現(xiàn)性很高的測定。

                               

消除背面反射光的原理                                         

定反射率時(shí),不需要背面防反射處理


將專用物鏡與環(huán)形照明組合,不需要進(jìn)行被檢測物背面的防反射處理,就可測定*薄0.2mm的反射率*。

可選擇的膜厚測定方法
根據(jù)測定的分光反射率數(shù)據(jù)進(jìn)行單層膜或多層膜的膜厚解析。可以根據(jù)用途選擇*佳的測定方法。

                                                               

峰谷法膜厚解析經(jīng)過信息圖例

峰谷法

這是一種根據(jù)測定的分光反射率值的峰值與低谷的周期性計(jì)算出膜厚的方法,對于測定單層膜是有效的。不需要復(fù)雜的設(shè)置,可以簡單地求出。


  

                                                                               

傅里葉轉(zhuǎn)換法膜厚解析經(jīng)過信息圖例

傅里葉轉(zhuǎn)換

這是一種根據(jù)測定的分光反射率值的周期性計(jì)算膜厚的方法,對于單層膜及多層膜的測定有效。難以檢測出峰值及低谷等時(shí),可以幾乎不受噪音的影響進(jìn)行解析。

  

                                                                                                         

曲線調(diào)整法膜厚解析經(jīng)過信息圖例

曲線調(diào)整法


這是一種通過推算測定的分光反射率值與根據(jù)某種膜構(gòu)造計(jì)算的反射率的差達(dá)到*小的構(gòu)造計(jì)算出膜厚的方法,對于單層膜及多層膜的測定有效。還可以進(jìn)行不會出現(xiàn)峰值及低谷的薄膜解析。


多樣化應(yīng)用
高速、高精度地應(yīng)對多樣化測定需求。

                                
通過測定球面、非球面的鏡片、濾鏡、反射鏡等光學(xué)元件的反射率,進(jìn)行涂層評價(jià)、物體顏色測定、膜厚測定。


數(shù)碼相機(jī)鏡片

投影儀鏡片
光讀取頭鏡片
眼鏡片




適用于LED反射鏡、半導(dǎo)體基板等微小電子部件的反射率測定、膜厚測定。


LED包裝
半導(dǎo)體基板




適用于平面光學(xué)元件、彩色濾鏡、光學(xué)薄膜等的反射率測定、膜厚測定、透過率測定。


液晶彩色濾鏡
光學(xué)薄膜




適用于棱鏡、反射鏡等45度入射產(chǎn)生的反射率測定。                                  


棱鏡
反射鏡